BNSR의 센서 웨이퍼(Capella Series)는 에칭 장비의 ESC 및 Bath에서 온도 및 플라즈마를 측정하기 위한 라인업을 공급합니다. 고객은 고온/극심 온도 및 플라즈마 조건에 따라 선택할 수 있고, 향후 EUV 측정 라인업 및 플라즈마 밀도 측정 라인업이 추가될 예정이며, 다양한 측정 환경으로 라인업이 확장되고 있습니다. 또한 측정 환경에 적합한 구성 요소로 스테이션과 Foup을 선택할 수 있으며, 측정값 분석을 위한 분석 프로그램도 구성되어 있습니다. 또한 고객의 요구를 충족하기 위해 개발 및 협업이 가능합니다.
웨이퍼 타입 센서 조립품
Sensor Wafer 활용 전용 크래들
공정 장비에서 Sensor Wafer 활용을 위한 카세트
Sensor Wafer 활용을 위한 전용 프로그램
