센서 웨이퍼는 반도체 공정의 핵심인 에칭 공정의 공정 조건을 검증하는 데 사용되며 에칭 장비의 성능 평가 등의 응용 분야에도 사용됩니다. 당사의 센서 웨이퍼는 생산 웨이퍼와 비슷한 크기와 무게를 가지며 에칭 장비에 적재하여 ESC와 챔버의 온도와 플라즈마 환경을 실시간으로 모니터링하고, 그 결과를 디지털화 및 도식화하여 작업자가 직관적으로 상태를 확인할 수 있도록 합니다. 고온에서 극저온까지 다양한 테스트 조건에 적용할 수 있도록 설계되었으며, 안정적인 테스트 환경과 실제 생산을 위한 정확한 측정을 제공하여 에칭 장비의 필수 공정 장비로 사용되고 있습니다. 또한 다양한 장비 제조업체와의 협력을 통해 고객의 수요와 만족도를 높이고 있습니다.
반도체 공정 기술의 발전에 따라 선폭의 정밀도가 점점 더 정밀해지고 있습니다. 또한 에칭 장비의 성능도 고도화되고 있으며, 고온, 극저온, 다양한 플라즈마 환경, EVU 적용 등의 기술이 변화하고 있습니다. 이러한 장비의 유지보수 및 공정 안정성을 확보하기 위해 센서 웨이퍼가 필수 장비로 대두되고 있으며, 또한 기술 개발 및 협력 개발이 요구되고 있습니다. 당사는 고온, 극저온, 플라즈마, EUV 환경 등 다양한 조건에 적용할 수 있는 센서 웨이퍼를 개발하고 있으며 장비 제조업체와 반도체 제조업체 간의 파트너십을 통해 제품을 공급하고 있습니다.
안정적인 측정 결과를 확보하고 균일성을 확보하기 위해 다양한 환경에서 측정 및 검증을 거쳐 제품을 출하하고 있습니다. 관련 검증을 위한 시설과 가공 장비를 보유하고 있습니다.
웨이퍼 유형 센서 개발 및 생산을 위한 전용 FAB 시설과 장비 및 분석 시스템을 보유하고 있습니다.
다양한 분야의 고객에게 최고의 서비스 및 사용자 경험을 제공합니다.
