BNSRのセンサーウェーハ(Capella Series)は、エッチング装置のESC及びBathで温度及びプラズマを
測定するためのラインアップを供給致します。
お客様は高温・極端な温度及び
プラズマ条件に応じて選択でき、将来的にはEUV測定ラインアップ及び
プラズマ密度測定ラインアップが追加され、様々な測定環境でのラインアップが拡張されます。
また、測定環境に適した構成要素として
ステーション及びフップを選択でき、測定値分析のための分析プログラムも
構成されております。
さらに、お客様の要求を満たすために
開発及び協力が可能です。
ウェーハタイプ
センサーアセンブリ
センサーウェーハ
活用専用クレードル
プロセス装置でセンサーウェーハを
活用するためのカセット
センサーウェーハ
活用専用プログラム
